クリーンルーム
１．クリーンルームの清浄度
空間中の綺麗なレベルを清浄度（クラス）と言い、清浄度を示す尺度として単位体積中に存在する微粒子の数で表すのが一般的です。
アメリカ連邦規格 Fed.Std209Eが最新版ですが、一般的に最も使用されているのが209Dです。これは1フィート立方中（28.3ﾘｯﾄﾙ）に0.5ミクロン以上の微粒子が何個あるかで表します。
例：209Dのｸﾗｽ1000とは1フィート立方中（28.3ﾘｯﾄﾙ）に0.5ミクロン以上の微粒子が1000個以下である事です。ｸﾗｽ100であれば100個以下です。ｸﾗｽの後の数値が小さいほど塵、埃の無い作業空間となります。
クリーンルーム内の清浄度の指標として209DとISOそれぞれ単位体積に含まれる粒子の数でクラス分けが行われます。
近年、クリーンルームの清浄度を表す規格は国際統一規格のISOに移行されてきています。この規格では1立方メートル中の空気中に存在する0.1ミクロン以上の微粒子数が基準になっていてISOクラス1～9に分類されています。
次に私たちに身近なところで、それぞれのクラスはどこにあたるかを目安として示します。
クラス 1000 ：雲の上
クラス 10000 ：海上
クラス 100000 ：森林や田園地帯 空気がきれいだなと感じられるのはこの辺までです。
クラス 400000 ：郊外住宅地
クラス1000000 ：オフィス オフィスではかなりの浮遊微粒子が存在しています。
クラス3000000 ：一般工場
クラス5000000 ：大都市の街中
２．清浄度とクラス、微粒子の関係
ＪＩＳ規格JIS B 9920 ISO規格 ISO 14644-1 F.S209比較
（１立方メートル中に含まれる0.1μm以上の微粒子数 個／㎥）
| JIS ISO | 0.1μｍ | 0.5μｍ | F.S 209D 相当 | |
|---|---|---|---|---|
| クラス１ | 10 | (10^1) | - | |
| クラス２ | 100 | (10^2) | 4 | |
| クラス３ | 1,000 | (10^3) | 35 | クラス1 |
| クラス４ | 10,000 | (10^4) | 352 | クラス10 |
| クラス５ | 100,000 | (10^5) | 3,520 | クラス100 |
| クラス６ | 1,000,000 | (10^6) | 35,200 | クラス1,000 |
| クラス７ | - | (10^7) | 352,000 | クラス10,000 |
| クラス８ | - | (10^8) | 3,520,000 | クラス100,000 |
| クラス９ | - | (10^9) | 35,200,000 | クラス1,000,000 |
